SEM扫描电镜通过电子束扫描样品表面获取样品信息。其原理为电子枪在镜筒顶部生成电子，当电子的热能超过了源材料的功函数时，就会被释放出来，然后它们加速向带有正电荷的阳高速移动。虽然扫描电镜具有很好的分辨率，但在使用中也有一些因素会对其造成影响。

电子枪

电子枪需要密封在特殊的真空室中，确保其不受污染、振动和噪音的影响。

镜筒

非真空环境下，镜筒中可能存在其他原子和分子，与电子相互作用，使电子束发生偏转，从而降低图像质量。所以高真空环境可提高镜筒内检测器对电子的收集效率。

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