非导电样品绝缘电阻大，在电子束扫描下，样品表面逐渐积累负电荷，排斥入射电子，二次电子发射不稳定，并随机偏转二次电子，造成图像晃动、亮度突变、出现无规则的明暗条纹，也就是所谓的 “荷电效应 ”。

通常在样品表面镀一层导电膜可以提高样品的导电性，表面的负电荷通过导电膜释放入地，消除荷电。电荷释放的前提是膜层须与金属样品台相连接，形成导电通道，此外连续的导电膜也可以提高样品的导热性，减小热损伤。目前常用的镀膜技术为真空蒸发和离子溅射。

常用的镀膜材料有C、 Al、 Cr、 Au-. Pt、 Au-Pd合金。金膜二次电子产率高、覆盖性好、镀膜容易，是常用的材料，但颗粒较大，适用于中低范围的分辨率、两万倍以下的图像。Pt和Au-Pd合金膜的颗粒要细得多，适用于高分辨率图像。 使用场发射电镜对膜层要求更高，至少要在20万倍下膜层不能显现结构，高真空镀Cr可以满足要求o C膜均匀性好，导电导热效率高，又是经济的材料，只是二次电子产率低，不适合高倍图像。

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