扫描电镜相比普通显微镜分辨率更高，成像立体效果更好，已应用于诸多领域，提到分辨率，哪些因素会对扫描电镜造成影响呢？

1、透镜的球差、色差等像差导致分辨率降低。

2、入射电子束同样品相互作用降低了分辨率。电子在进入固体后，将在其中发生一系列的散射，这些散射过程根据能量变化可分为弹性散射和非弹性散射两个基本过程。

3、信噪比也影响了扫描电镜的分辨率。

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